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真空离子源与离子真空泵原理

真空离子源利用电场或磁场使离子在真空中发射，用于离子注入等。离子真空泵则通过离子轰击泵内表面形成电荷转移，产生抽气效应，维持系统高真空度。两者均与离子在真空中的运动及能量转移有关。...